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                      1200開啟式管式爐

      
    1200開啟式管式爐
    
      
        
      更新時間：2020-11-20
      
        
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      開啟式管式爐
在真空壓力下，加在電感線圈的射頻電場，使反應室氣體發生輝光放電，在輝光發電區域產生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發生化學反應生成介質膜，副產物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走，稱為等離子體增強化學氣相沉（PECVD）。
      
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